衍射光栅根据刻线的截面形状可分为几类。岛津公司制作的衍射光栅主要分三类，三种特点分别如下：
1. 平面闪耀全息光栅(BHG)
锯齿状刻线
- 可提高从紫外线到可见特定波长范围下的衍射效率。
- 闪耀波长(衍射效率峰值下的波长)由闪耀角决定。
- 可见·紫外的分光器中使用。
2. 全息光栅(HG)
正弦波刻线
- 较宽的波长范围内较高的衍射效率。
- 刻线深度可决定衍射效率的峰值波长。
- 通常，衍射效率为闪耀全息衍射光栅(BHG)的一半左右，但是可以通过改变刻线间隔的刻线深度，有可能做到比BHG更高的衍射效率。
- 较宽的波长范围以及近红外波长范围下使用。
3.层状衍射光栅
矩形刻线
- 偶数阶次光的衍射效率比BHG、HG偏低。
- 刻线深度决定了衍射效率的峰值波长。
- 软X线区域的反射率很大，所以用于软X线区域的光谱仪。
