衍射光栅简介

全息光栅(HG:Holographic Grating)是利用两束激光干涉的全息曝光法制作的光栅。因此，由周期误差引起的杂光极少，特别是凹面全息衍射光栅(凹面HG)，本身具有像差校正功能的优点。

岛津公司与理化学研究所进行了多年的共同研究，通过离子束蚀刻法，成功进行了在此之前被认为不可能实现的全息光栅的闪耀加工。由此，在全球首次确立了与机械刻线衍射光栅(Ruled Grating (有规则评级))同等衍射效率下，杂光较少的闪耀全息衍射光栅(BHG:Blazed Holographic Grating)的制造技术 (图1) 。这种独创性衍射光栅制造技术荣获了大河内纪念技术奖。

另外，为了进一步优化和校正各种衍射光栅使用波长范围内的像差问题，我们还建立了一种“非球面波曝光法”技术，该技术在全息曝光波前使用非球面波，因此，可设计和制作最佳匹配衍射光栅，为分光装置的特性选择提供更多可能。