深入创新核心，探秘岛津涡轮分子泵

岛津是作为涡轮分子泵（TMP）制造商，其涡轮分子泵专为半导体器件、太阳能电池及平板显示器生产提供关键高真空环境，是相关制造环节的核心设备。
岛津 TMP 拥有优秀的气体处理能力与抽气速率，能够满足半导体制造工艺不断提升的严苛要求，可支撑厂商在大尺寸硅片上完成半导体薄膜的沉积与蚀刻等关键工艺。

涡轮分子泵通过涡轮高速旋转实现分子流级真空环境。半导体与平板显示器生产需要洁净无油的真空条件，以保障设备稳定运行。岛津凭借卓越的技术性能、高可靠性及覆盖全球的技术支持网络，让 TMP 成为该领域的设备。岛津拥有丰富齐全的 TMP 产品线，各系列可适配不同应用场景。

TMP-2404/3304/4304 系列兼具温控功能与特殊耐腐蚀涂层，气体处理能力优异，抽速覆盖 2100 L/s 至 4400 L/s，可满足多元化应用需求。
紧凑节能的 TMP-X1605/V2304 系列全系搭载集成电源模块，节能优势显著。
TMP-X3405/X4304 系列不仅集成电源，还配备温控功能与耐腐蚀涂层，可完美匹配半导体及平板显示器（FPD）制造的高精度工艺要求。
此外，TMP-203 至 1003 系列产品拥有出色的压缩比与极限真空度，能够稳定实现高真空环境。

TMP-5305 系列气体处理与抽气速率高达 5300 L/s，专为下一代 450 mm 半导体晶圆加工场景设计。
岛津制作所半导体仪器事业部涡轮分子泵事业部研发团队负责人太田知男表示：“目前，岛津在磁悬浮涡轮分子泵领域已占据 30% 的全球市场份额。岛津 TMP 的全球普及，印证了我们以创新设计响应行业迭代需求、并提供全球化技术支持的长期积累。”
事实上，岛津 TMP 的原型最初为神户超级计算机研发。太田知男介绍：“岛津工程师采用前沿建模技术模拟涡轮分子泵性能，所有商用 TMP 均由岛津自主生产，从源头保障产品品质与性能稳定。”

新型轴承结构 TMP，赋能下一代应用

2014 年，岛津推出搭载创新 “混合轴承” 设计的 TMP-B300 系列涡轮分子泵，适用于质谱仪、扫描电子显微镜等需要超高真空的分析科学与科研领域。TMP-B300 系列面向分析科学及通用设备用小型涡轮分子泵市场开发，该市场规模达 1.5 亿美元。

在真空工业与分析科学等超高真空应用场景中，涡轮分子泵需满足极高性能标准。TMP-B300 是低功耗、紧凑型产品，机身高度仅 195 mm，搭载一体式控制器，可在有限空间内垂直、倒置或水平灵活安装；支持最高 1000 Pa 前级压力，可搭配隔膜泵等小型前级泵使用。
该产品还配备便捷的集成控制面板，抽速约 280 L/s，工作功耗仅 180 W，高效节能。

*注：本文最初发表于《MOMENTUM》。
*注：本文所登载被采访者所属部门、职务均为采访当时信息