超纯水在线TOC分析仪TOC-1000e S

应用

  • 在半导体制造工艺中,即便是极微量的污染物也会影响产品质量。近年来,随着半导体制程越来越高端,线宽越来越小,微量有机污染已成为导致产品良率下降的严峻问题。因此,对制造工艺中使用的清洗水(超纯水)所含杂质(有机物)的管理至关重要。

    岛津这款在线 TOC 分析仪,充分倾听全球半导体器件制造商的需求,融合岛津在 TOC 分析仪领域 50 余年积累的技术与经验,专为超纯水监测研发而成,能够实现浓度低于1ppb场景下的TOC稳定测量,满足半导体市场的需求。

    测量范围:0~500 μg/L
    检出限:0.02 μg/L
    外形尺寸:W270 × H180 × D140mm
    质量:约3.0 kg
    数据传输形式:4-20mA输出、 USB存储器
    LAN(文件传输、Web) 、Modbus

产品详情