超纯水在线TOC分析仪TOC-1000e S
适用于超纯水中杂质管理的TOC分析仪
在半导体制造工艺中，即便是极微量的污染物也会影响产品质量。近年来，随着半导体制程越来越高端，线宽越来越小，微量有机污染已成为导致产品良率下降的严峻问题。因此，对制造工艺中使用的清洗水（超纯水）所含杂质（有机物）的管理至关重要。
岛津这款在线 TOC 分析仪，充分倾听全球半导体器件制造商的需求，融合岛津在 TOC 分析仪领域 50 余年积累的技术与经验，专为超纯水监测研发而成，能够实现浓度低于1ppb场景下的TOC稳定测量，满足半导体市场的需求。
测量范围：0～500 μg/L
检出限：0.02 μg/L
外形尺寸：W270 × H180 × D140mm
质量：约3.0 kg
数据传输形式：4-20mA输出、 USB存储器
LAN(文件传输、Web) 、Modbus
特点
难降解有机物的精准检测
本产品践行环保理念，有机氧化分解所采用的紫外灯（UV Lamp）并未使用常规水银灯，而是搭载准分子灯，且灯管结构采用 "Active-Path" 光路构型，通过无汞准分子灯发出高能短波长光线照射样品，能够精准检测尿素等常规检测中难以捕捉的难降解有机物。
快速响应以检测杂质污染
尽早发现超纯水中的杂质，是预防半导体部件出现不良品的关键。
TOC-1000e S 的测定流路采用准分子灯与电导率仪串联连接的简洁结构，通过持续将设备接入的部分样品水送入测定流路进行检测的机制，能够实时捕捉突发的杂质混入情况。
紧凑型设计与轻巧结构
产品重量与尺寸设计紧凑，便于携带至任意测量点。除桌面摆放使用外，通过选配安装支架，还可实现壁装或管道安装。设备正面的彩色显示屏尺寸宽大、可视性强。
高维护便利性
需定期更换的部件仅为灯和泵，两者均可通过设备正面柜门直接接触，无需专业工具即可轻松拆装。且更换周期长，大幅降低维护成本，同时保障测量稳定性。
