超过SCD臭氧捕集阱使用时间[错误代码:9072]

原因

SCD臭氧收集器的使用时间已超过配置的阈值。

措施

来自真空泵的排气中混入臭氧的风险增大了。
更换臭氧收集器填充剂并重置计数。

臭氧洗涤器的更换方法

臭氧捕集阱的更换

计数值的重置方法

按HOME按钮-［检测器］-［辅助菜单］-［SCD更换部件计数器］，显示［SCD更换部件计数器］画面。

［SCD更换部件计数器］画面