DET#n点灯失败[错误代码:4208 4209 4210 4211]

原因

BID等离子体点灯失败。

措施

如果在上述确认后未点亮,则可能是氦气过滤部件器等故障。请关闭仪器的主电源,停止供给气体,并与您所在区域内的岛津分公司联系。