9-5 ITO薄膜观察例

ITO薄膜观察例

ITO薄膜是大家熟悉的透明导电膜，随成膜的方法、膜厚、基底温度等成膜条件的不同，表面形状有所不同。比较膜厚120nm（左图）与450nm（右图）的ITO薄膜时，发现随着膜厚的增加，每个晶粒亦随之变大。此外，清楚地观察到溅射成膜法所特有的晶粒-亚晶粒结构。
（青山学院大学理工学部化学科 重里先生 提供）