10-5 使用碳纳米管探针的线＆空间的高方位观察例

使用碳纳米管探针的线＆空间的高方位观察例

传统的探针对于这种高宽比高的样品，探针不能到达底部，难于用SPM测定。但是，采用碳纳米管开发的探针，可以观察到深底。应用于SAW滤波器的品质管理。