EPMA-8050G - 特点
Electron Probe Microanalyzer
优越的空间分辨率
使用分析条件束流，引以为傲No.1的二次电子图像分辨率。（加速电压10kV时，20nm@10nA//50nm@100nA/150nm@1μA）。与原来的电子枪（CeB6、钨灯丝）的结果相比，一目了然。
由于可用更大的束流得到与原来电子枪相同分辨率的图像，所以可进行更高灵敏度的X射线分析。 更加值得注意的是，束流为1μA时的SEM图像。能够得到1μA以上束流，而且可以压缩到如此细的岛津产品只有EPMA-8050G。
各种电子枪产生电子束的特性比较（加速电压10kV）
大束流更高灵敏度分析
场发射类型的SEM、EPMA可实现其他仪器所不能达到的大束流（加速电压30kV时可达3μA）。在超微量元素的检测灵敏度上实现了质的飞跃，将元素面分析时超微量元素成分分布的可视化成为现实。而且，所有束流范围内不需要更换物镜光阑，完全不用担心合轴，实现了高度自动化分析。
面的3个图像为不同束流下，对不锈钢中约1%左右Si进行面分析的结果※。束流越大，偏差越小，越能更加清楚的确认包含Si的范围。
※ 分析条件：加速电压10kV，积分时间50msec。分析花费时间约1小时。
至多可同时搭载5通道高性能4英寸X射线谱仪
X射线取出角决定分析性能，52.5°更胜一筹
对X射线的吸收越少，灵敏度越高。
高X射线取出角，可降低吸收带来的影响，可以对深孔底部、孔中异物进行分析。
对深孔中异物的分析实例。左下为铁（Fe）的分布，右下为钛（Ti）的分布。通过EPMA-8050G的高取出角，即使是表面明显凹凸不同的样品，也可进行高精度分析。
分光晶体采用全聚焦约翰逊型晶体。
秉承岛津研发经验的晶体加工制备工艺，保证提供高灵敏度·高分辨率兼备的分光晶体。Johanson(约翰逊)型分光晶体是全聚焦晶体，无像差。
至多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度、高分辨率的4英寸谱仪。
X射线谱仪罗兰圆直径是影响EPMA分析性能至关重要的因素之一。罗兰圆半径每增加1英寸，检出灵敏度下降30%以上。岛津EPMA至多同时搭载5通道覆盖全部分光范围的4英寸谱仪。
谱仪构成
各分光晶体可分析元素以及推荐谱仪组合实例。
应对谱仪的多通道安装，我们配备有多种分光元件，可根据分析目的选择适合的分光元件。岛津EPMA在设计上无需更换物镜光阑，就可发挥出色性能。X射线谱仪也贯彻这种理念，分析时无需选择罗兰圆直径、切换狭缝，就可兼顾出色的灵敏度与极高的分辨率。
| 定性分析 | 定量分析 | 面/线分析 | 状态分析 | |
| 兼顾灵敏度与分辨率的 X射线谱仪 （岛津EPMA） |
○ | ○ | ○ | ○ |
| ※所有的分析模式都可实现出色分析条件的只有兼顾灵敏度和分辨率的岛津X射线谱仪。 | ||||
| 重视灵敏度的 X射线谱仪 |
△ 峰容易重叠，造成误判。 |
○ | ○ | × 难以捕捉波形变化。 |
| 重视分辨率的 X射线谱仪 |
△ | × 峰强度重现性差。 |
× 容易受到样品表面影响，随着时间的增加，越来越难以得到稳定的峰强度。 |
△ 细微峰的检测困难。 |
全部分析操作简单易懂
全部操作仅需一个鼠标就可实现的先进可操作性、追求「易懂」的人性化用户界面、搭载导航模式等多个新功能，将「简单易懂操作」成为现实。无论是初学者还是专家级用户都可进行得心应手的操作分析。
● 从样品导入到生成分析报告，操作方便。
● 即便是第一次使用也可轻松进行样品定位SEM观察。
● 优越的可操控性，大大提高分析准备工作的效率。
● 视觉上追求「易懂」的人性化用户界面。
● 搭载导航模式，自动指引直至生成分析报告。
