SCD的臭氧发生器用氧气气体控制用流量控制器的流量不稳定。
请确认氧气的供给压力是否在下述范围内。
请确认气体的供给压力是否稳定。
如果确认上述事项后仍然反复显示错误，其原因可能是流量控制器发生故障。此时请关闭仪器的主电源，停止供给气体，并与您所在区域内的岛津分公司联系。