SCD氮气无法正常控制[错误代码:6167]

原因

SCD的氮气流量控制器未正常运行。

措施

如果确认上述事项后仍然反复显示错误,请关闭仪器的主电源,停止供给气体,并与您所在区域内的岛津分公司或代理商联系。