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原因
措施
SCD氮气无法正常控制[错误代码:6167]
原因
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SCD的氮气流量控制器未正常运行。
措施
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请确认是否为输送氮气所需要的供给压力。
请确认气体的供给压力是否稳定。
如果确认上述事项后仍然反复显示错误,请关闭仪器的主电源,停止供给气体,并与您所在区域内的岛津分公司或代理商联系。