气体切换模块的吹扫流量无法正常控制。
请确认气体切换模块的供给压力是否在下述范围内。
请确认气体切换模块的设定压力是否低于供给压力。
如果确认上述事项后仍然反复显示错误，请关闭仪器的主电源，停止供给气体，并与您所在区域内的岛津分公司联系。