气体切换模块n主达不到设定值[错误代码:2346 2347]

原因

由于压力控制错误(泄漏到外部)，压力无法上升到设定值。

措施

请确认气体有正常供给，气路连接部分没有泄漏。根据泄漏的程度和压力设置，可能会在主模块之外的部分发生泄漏。