Flow#阀无法正常控制[错误代码:2322 2323 2324 2325 2326 2327]

原因

流量控制器压力控制阀无法正常工作。

措施

流量控制器中的阀或电路板可能损坏。停止气体供给，关闭仪器的主电源，并与您所在区域内的岛津分公司联系。