空气流量超过规定值。如果在APC运行过程中更改供给气体压力,将可能发生该错误。
如果确认上述事项后仍然反复显示错误,其原因可能是APC控制系统发生故障。此时请关闭仪器的主电源,停止供给气体,并与您所在区域内的岛津分公司联系。