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原因
措施
CARm AFC阀没有正常闭合[错误代码:2132 2133 2206 2207]
原因
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AFC的吹扫流量控制用的阀门内漏。
措施
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请确认分流流路出口和吹扫流路出口是否堵塞。
如果确认上述事项后仍然反复显示错误,请关闭仪器的主电源,停止供给气体,并与您所在区域内的岛津分公司联系。