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CARm AFC达不到设定值[错误代码:2130 2131 2204 2205]

原因¶

可能是下述原因导致压力及流量未能到达设定值：

• 气体的供给压力不足。
• 管路连接部位漏气。
• 供给管路的阻力较大(所连管路较长或管路内径较小)。

措施¶

• 请确认柱入口压力和总流量的设定值在“ AFC、APC的控制范围 ” 内。
• 请确认气体的总阀是否已打开。
• 请确认管路连接部位是否松动或漏气。
• 请与您所在区域内的岛津分公司联系，确认所使用的配管内径和长度。