由于以下原因，压力和流量有可能达不到设定值。
请确认气源的总开关是否打开。
请确认气体的供给压力在以下范围内。
请确认气源的供应压是否达到以下尾吹气所需源压力。
检查管线连接是否松动或泄漏。
请与您所在区域内的岛津分公司联系，确认所使用的管线内径和长度。