缩短膜厚检测装置的检测时间

客户的课题

光射入膜厚检测装置的光学系统,采用的是使用聚光透镜的透射光学系统。
使用透镜的聚光伴随着色差,因此难以将检测波长整个范围的光聚光在一个点上。
我们希望消除聚光的损失,缩短检测时间。

补充  透射光学系统发生的色差是什么?
色差是由于透镜材料的折射率波长依赖性,随着波长出现成像位置偏移的现象。因此,球面透镜不能将所有波长的光聚光在一个点上。

轴上的色差

 

补充  反射光学系统的优点是什么?
反射光学系统没有波长依赖性,不会发生色差。
另外,特别在处理紫外光的反射系统也很有效果。透镜在紫外区域获得高透射率的材料非常有限,而金属反射镜在紫外区域可以获得优异的反射率。

岛津的优势

★这是关键! 聚光性优异的环曲面镜
岛津的环曲面镜是适合聚光的反射光学元件。
反射面为环形的球面反射镜可以减少散点像差,将散射光聚集到一个点。
通过模拟演示可以向客户提出合适光学布局的规格方案。

 

环曲面镜和球面镜的聚光像比较(模拟演示)
环曲面镜可以减少散点像差,基本可以聚光到一个点。

 

★这是关键! 在紫外区域实现高反射率的独有AI涂层技术
岛津独有的AI涂层技术可以实现200nm附近紫外区域的高反射率。
适用于紫外到红外的宽波长区域。

选择岛津

搭载环曲面镜,可提升新开发的膜厚检测装置的检测速度。
提升紫外区域的光量,可检测更薄的膜厚。

用户心声

需要在有限的空间进行设计,终于在短时间内找到了合适的环曲面镜。
也可搭载岛津生产的分析仪器,让人放心。

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