光学元件低杂散光衍射光栅

Low Stray Light Diffraction Gratings

      低杂散光衍射光栅[LO-RAY-LIGH]在衍射光栅的生产过程中,以过去岛津拥有的全息技术为基础, 新开发出自有的工艺,并通过优化后的刻蚀工艺,成功地制造出高效率且杂散光极低的衍射光栅。本衍射光栅是低杂散光衍射光栅,采用了本公司自有的激光式杂散光测定方法,以保证在0级光和+1级光中间位置上的衍射光栅的杂散光值。

      LO-RAY-LIGH是比本公司传统产品杂散光低50%以下的平面衍射光栅。

具有代表性的杂散光值比较

标准品

制品编号 刻线数
(条/mm)
闪耀波长
(nm)(※1)
杂散光值
(※2)
外形尺寸
W×H×T (mm)
LS120-025-3010 1200 250 2×10-6以下 30×30×10
LS120-050-3010 1200 500 2×10-6以下 30×30×10
LS120-050-6010 1200 500 2×10-6以下 60×60×10
LS120-060-3010 1200 600 2×10-6以下 30×30×10
LS120-060-6010 1200 600 2×10-6以下 60×60×10
LS120-025-6010 1200 250 2×10-6以下 60×60×10
LS180-025-3010 1800 250 2×10-6以下 30×30×10
LS180-025-6010 1800 250 2×10-6以下 60×60×10
LS180-050-3010 1800 500 2×10-6以下 30×30×10
LS180-050-6010 1800 500 2×10-6以下 60×60×10

通用规格

类别 等间隔直线刻线复制光栅型(※3)
空白材质 碱玻璃
外形尺寸公差
(W)和(H)
厚(T)
±0.1mm
±0.5mm
有效区域 除外形周边2mm 的区域
刻线数公差(在衍射光栅中心) ±0.5 条/mm
衍射波面精度 2λ以内(+1级光, λ=632.8nm)
镀层 Al(铝)
划痕 80-50(依据MIL-O-13830A)
  • ※1:闪耀波长为设计值而非保证值。
  • ※2:波长473nm的激光入射衍射光栅时,使用入射激光光强度将按偏角2K=13.5°配置,在0级光+1级光中间位置上检测出的光强度进行标准化的值。
  • ※3:光栅刻线是由树脂形成的。
    ※结露是造成光学特性显著劣化的重要原因,应避免结露
  • ※如有外观以及规格的变化,恕不另行通知。