光学元件低杂散光衍射光栅

      低杂散光衍射光栅[LO-RAY-LIGH]在衍射光栅的生产过程中,以过去岛津拥有的全息技术为基础, 新开发出自有的工艺,并通过优化后的刻蚀工艺,成功地制造出高效率且杂散光极低的衍射光栅。本衍射光栅是低杂散光衍射光栅,采用了本公司自有的激光式杂散光测定方法,以保证在0级光和+1级光中间位置上的衍射光栅的杂散光值。

      

特性

1. LO-RAY-LIGH是一种平面衍射光栅,其杂散值为本公司过去产品的一半以下,具有低杂散光的特性。

代表性杂散光值比较

激光式杂散光检测装置 

2.  LO-RAY-LIGH的一次光附近光强度的比较数据 

光栅

代表性一次光附近强度比较 

激光式一次光附近光强度检测装置 

3.  LO-RAY-LIGH具有高相对衍射效率的特性 

具有代表性的相对衍射效率数据

 

改善·用途事例

希望稳定提供高质量的衍射光栅。
·减少因光分析仪器检查不合格而造成的返工
 

应用例:激光式杂散光检测装置

激光式杂散光检测结构图

激光式杂散光检测方法
用光学系统 (扩展器) 放大波长473nm的激光,照射在衍射光栅。光栅反射与激光波长相关的衍射光(0次光,±1次光等)。由于激光是单一波长,因此得到的每个衍射光都是独立且离散的。在激光杂散光检测方法中,衍射光栅和光电二极管以恒定偏振角 (2K) 放置,旋转衍射光栅以检测介于0级和+1级光之间的光强度。
什么是杂散光值?
杂散光值是把激光式杂散光检测方法检测出0次光和+1次光中间位置的光强度,用入射激光强度进行标准化计算出的数值,定义为"杂散光"。
什么是低杂散衍射光栅?
低杂散光衍射光栅是用激光式杂散光检测方法,在27°测量偏角 (2K),保证衍射光栅的杂光值在规定值以下的衍射光栅。

与滤光器式杂散光检测法的比较

 

利用分光光度计 (本公司制造) 的滤光器式杂光检测方法和开发的激光式杂光检测方法,通过衍射光栅的差异对杂散光进行了比较。结果,获得了非常好的相关性,如左图所示。

滤光器式杂散光检测结果
 

应用例:一次光附近光强度检测装置

激光式一次光附近光强检测方法

波长473nm的激光通过针孔照射衍射光栅。光栅反射与激光波长相关的衍射光(0次光,±1次光等)。由于激光是单一波长的,因此每个衍射光都是独立且离散的。在激光式一次光附近光强检测方法中,衍射光栅和光电二极管以恒偏角 (2K) 放置,旋转光栅以检测+1次光附近的光强度。用+1次光的光强度对检测到的光强度进行标准化计算。但是,这个测量方法不能测量光谱宽度等。
 

通用规格

类别 等间隔直线刻线复制衍射光栅※1
毛坯材质     碱玻璃
外形尺寸容许公差 ±0.1 (W) ×±0.1 (H) (mm)
厚度容许公差 ±0.5 (T) (mm)
有效区域 除轮廓周长2mm外的整个表面
刻线条数容许公差 ±0.5 条/mm
衍射波面精度 2λ以内(+1次光,λ=632.8nm)
镀层 Al(铝)
划痕 80-50(依据MIL-O-13830A)
  • ※1:光栅的刻线是在树脂上完成的。
  • ※符合RoHS指令 (10种物质) 的产品

请避免结露,否则会使光学特性明显下降。
如有外观以及规格的变化,恕不另行通知。

轮廓图

※如有外观以及规格的变化,恕不另行通知。 

标准品

编号 刻线数
(条/mm)
闪耀波长
(nm)(※1)
杂散光值
(※2)
外形尺寸
W×H×T (mm)
LS120-025-3010 1200 250 2×10-6以下 30×30×10
LS120-025-6010 1200 250 2×10-6以下 60×60×10
LS120-050-3010 1200 500 2×10-6以下 30×30×10
LS120-060-6010 1200 500 2×10-6以下 60×60×10
LS120-060-3010 1200 600 2×10-6以下 30×30×10
LS120-025-6010 1200 600 2×10-6以下 60×60×10
LS180-025-3010 1800 250 2×10-6以下 30×30×10
LS180-025-6010 1800 250 2×10-6以下 60×60×10
LS180-050-3010 1800 500 2×10-6以下 30×30×10
LS180-050-6010 1800 500 2×10-6以下 60×60×10
  • ※1:闪耀波长为设计值,非保证值。
  • ※2:波长为473nm的激光入射光栅时,当偏振角是2K=27°,在0级光+1级光中间位置检测到的光强度,由入射激光强度标准化得到的值。