产业机械氦质谱检漏仪检测方法

【真空喷氦法】

● 将被测工件内部抽真空,然后从外部喷氦,检出从漏电进入的氦气。
● 适用于管道焊接、波纹管、密封接头等的泄漏测试。

【真空氦罩法】

● 将待测工件放入充满氦气的罩子后抽真空,检出从漏点进入的氦气。
● 适用于流量计等的泄漏测试。

【吸枪法】(需选购吸枪)

● 因强度或者其他原因无法做真空排气的工件,可以对工件内部加压压入氦气(或者是氦气和其他气体的混合体)
● 适用于压缩机、热交换器、电容器等工件的泄漏测试。
※此方法需选购吸枪

【锅瓶法】

● 先用锅瓶装置将氦气压入被检测工件内部,然后将此工件转移到测试容器内,检出因真空压差而流出的氦气。多用于密封性小型量产部品的泄漏测试。
● 适用于晶体振荡器、SAW滤液器等工件的泄漏测试。
※此方法需选配测试容器和加压装置。

【真空容器法】

● 将已充满氦气的工件放入钟罩容器或者真空容器内,然后用前缀泵对真空容器进行真空排气。最后与检漏仪连接。检出从漏点流出的氦气。
● 适用于灭火器、气囊等工件的泄漏测试。

【并列排气法】

● 通常用于单检漏仪无法进行真空排气的容积较大的腔体、大型真空设备的泄漏测试,适用这种测试方法是需要安装干泵和分子泵等真空机组。
● 适用于真空蒸镀设备、吸收式冷冻机、真空炉等的泄漏测试。
※图中无线显示手柄为选配件。