光栅真空紫外·软x线领域层状衍射光栅

TOPIC        可满足3000~6000条/mm的刻线要求。

HOLOGRAPHIC LAMINAR GRATINGS FOR VACUUM ULTRAVIOLET REGION

层状衍射光栅AFM 图片 

岛津采用离子刻蚀技术及全息曝光的工艺方法，加工出可适用于真空紫外及软x线领域使用的层状式衍射光栅。
此款光栅刻线的截面形状如上图所示，是矩形形状，是在合成石英的基底上直接刻线加工而成，特别适合斜入射光源的要求。

最终用途应用实例

• 放射光光束设施

概念图

图2 矩形衍射光栅刻线断面形状的概念图

检测例

图3 氩吸收光谱测量示例

镀膜材质

图4 镀膜材料与反射率的关系

*理想平面镜的模拟结果（非保证值），膜厚为 30nm，入射角为 88°，表面粗糙度为 0。