岛津磁悬浮轴承涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统，无需使用油润滑，在运转过程当中，无任何摩擦，是真正做到完全无油、免维护、全方位安装的涡轮分子泵。
空冷型
型号
TMP-
203M
303M
403M
803M
1003M
2003M
排气速度 L/S (N2)
190
320
420
800
1080
2000
最大吸气压力 Pa
1.3
0.4
到达压力(烘烤后)Pa
10-8
10-9
广域型
203LM
303LM
403LM
803LM
1003LM
1303LM
2003LM
2203LM
3203LM
3403LM
4203LM
排气速度L/S (N2)
1300
2140
3200
3300
4200
200
400
133
67
40
10
到达压力(烘烤后) Pa
10-7