岛津磁悬浮轴承涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统，无需使用油润滑，在运转过程当中，无任何摩擦，是真正做到完全无油、免维护、全方位安装的涡轮分子泵。

	空冷型
型号	TMP-	TMP-		TMP-	TMP-	TMP-	TMP-
	203M	303M		403M	803M	1003M	2003M
排气速度 L/S (N2)	190	320	420		800	1080	2000
最大吸气压力 Pa	1.3						0.23
到达压力(烘烤后)Pa	10月8日			10月9日

	广域型
型号	TMP-	TMP-	TMP-	TMP-	TMP-	TMP-	TMP-	TMP-	TMP-	TMP-	TMP-
	203LM	303LM	403LM	803LM	1003LM	1303LM	2003LM	2203LM	3203LM	3403LM	4203LM
排气速度L/S (N2)	190	320	420	800	1080	1300	2000	2050	3200	3300	4000
最大吸气压力 Pa	200			400		133	67	40	40	10	10
到达压力(烘烤后) Pa	10月8日			10月9日		10月8日	10月6日	10月9日	10月8日	10月7日