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支持电子零部件产品评价、品质管理,介绍用于电子装置实装、半导体基板制造工艺中的检测仪器。
·表面构造解析装置 ●接点不良/断线、烧坏 ●腐蚀、剥离/接触不良、异物
电子探针 EPMA-1600/1610型　　分析扫描电子显微镜 SSX-550型
·异物解析装置 ●表面污染/异物、污点 ●缺陷 ●膜厚管理
FTIR显微镜系统IRPrestige-21
·有害物质测定装置 ●有害重金属、薄膜组成 ●不良解析、废材处理
能量色散型微区X射线荧光光谱仪 µEDX系列　　能量色散型X射线荧光光谱仪 EDX系列
·特性测定装置/粒度测定装置
差示扫描量热仪DSC-60系列　　差热-热重同时分析仪DTG-60系列　　对应超微粒子型激光粒度仪SALD-7101
·洁净室环境监测] ●特定污染源、保持洁净度 ●微量有机物、微量杂质测定
气相色谱质谱联用仪GCMS-QP2010 Plus 　　原子吸收分光光度计AA-6300 　　抑制型离子色谱仪 Prominenece HIC-SP 　　总有机碳分析仪燃烧法在线型TOC-V CSH online
·膜厚、光学特性测试装置 ●膜厚/光学测定
傅里叶变换红外光谱仪IRPrestige-21 　　紫外可见近红外分光光度计SolidSpec-3700
·无损X射线检查装置 ●高密度实装/可靠性 ●故障解析
微焦点X射线检查装置SMX-160LT 　　台式微焦点X射线CT装置inspeXio SMX-90CT
·物理特性测试装置 ●强度测试 ●耐久性测试
小型台式电子万能试验机EZ Test/EZ Graph 　　微小电磁力疲劳试验机MMT系列
·物理特性测试装置 ●表面硬度 ●粘性测定 ●天平
超显微动态硬度计DUH-211/211S 　　毛细管式流变仪CFT-500D/100D 　　分析天平AUW-D系列电子托盘天平UX/UW系列

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